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1．名称「ナノマイクロ加工分科会」：
2．分科会発足の趣旨：
21世紀のキーワードの一つとしてのナノテクノロジーは，情報通信，ライフサイエンス，環境等，広範な分野にわたる新しい材料やデバイス，システム等の開発に寄与するものと期待されている．こうしたナノ・デバイスが組み込まれた電子機械システムにおいては，ミリ/マイクロ/ナノの階層構造における設計法を確立する必要があるが，製造技術においても，材料の各スケールの位相における加工の力学と技術について検討する必要がある．とくにマイクロ/サブマイクロメートル･オーダーの加工はシリコンプロセスがその牽引役を担ってきたが，最近，マイクロ/ナノメートル形状の金型を用いた形状転写加工法が提案され，大規模生産設備が不要で，高スループット生産が可能である点で注目されるなど，新しい取り組みが始まっている．そこで，本研究委員会では，従来技術を極限化したミリ/マイクロメートル･オーダーの加工技術，ならびにマイクロ/ナノメートル･オーダーの加工を指向した新しい加工技術に関する調査，研究を行い，マイクロ加工法と技術の提案，およびその展開をはかることを目的とする．
3．主な活動
- 3-1 研究項目：
- マイクロ材料技術
- 巨視的・準巨視的・微視的変形特性，微細加工特性，表面，工具・金型材料
- 素材製造技術
- 極薄板，箔，極細線・管，粉末，等の製造技術
- マイクロ形状転写加工技術：各研究分科会の技術を縦糸として，「マイクロ」を横糸とする．
- 塑性・粘性・超塑性加工，ロールフォーミング，圧延，トライボロジー，チューブフォーミング，板成形，鍛造，粉体成形，せん断，引抜き，押出しインクリメンタル成形，接合，複合加工，LIGA，ラピッドプロトタイピング，プラスチックプロセス，鋳造，セミソリッド加工，超音波，特殊加工 マイクロ加工の力学：材料構成方程式，マイクロ加工の力学，表面，トライボロジー，シミュレーション
- 工具・マイクロ金型技術
- 材料，マイクロ形状創成，加工技術（切削，研削，放電加工，レーザ加工，エッチング，電鋳，LIGA，ラピッドプロトタイピング，イオンビーム加工，他），計測，CAD/CAM，金型構造，他
- 計測と制御技術
- マイクロ/ナノ形状計測，加工計測，加工制御
- 加工機械とシステム
- マイクロファクトリー，機械構造，アクチュエータ，センサー，システム技術
- 製品評価技術
- 計測・評価技術（形状，構造特性，等）
3-2 運営その他：
- （1）運営委員会を組織し円滑な運営をはかる
- （2）研究会、見学会、総会など年4回程度開催する
- （3）成果を学会事業に提供する
- （4）学際的活動により学会の会勢拡張に寄与する
- （5）その他
- （2）研究会、見学会、総会など年4回程度開催する
4．委員構成 （52名，2001年9月）
- 主 査 早乙女康典（群馬大学）
- 幹 事 青木 勇（神奈川大学）
- 運営委員 池 浩（理化学研究所），池田博通（長野県精密工業試験場），大竹尚登（東京工業大学大学院），小寺秀俊（京都大学），坂上榮松（セイコーエプソン（株），高橋俊典（埼玉工業大学），高橋 寛（山形大学），仲町英治（大阪工業大学），松崎邦男（産業技術総合研究所），村川正夫（日本工業大学），楊 明（東京都立大学大学院），米山猛（金沢大学）
- 幹 事 青木 勇（神奈川大学）
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