プロセス・トライボロジー分科会
平成15年度総会・第99回研究会（見学付き）
テーマ：デバイストライボロジーと微細加工
日時： ２００３年５月９日（金）13:30〜17:00
場所： （株）日立製作所 機械研究所 新館1F
(〒300-0013 茨城県 土浦市神立町 ５０２）
（JR土浦駅からタクシー（約15分）またはJR神立駅からタクシー5分（徒歩20分））
趣旨：情報機器関連のデバイスでのトライボロジー研究あるいは関連する微細加工などの話題提供をいただきます．また，日立製作所機械研究所で取り組まれている製品と技術コーナを見学します．周辺の異業種分野や加工に関連する新しい見方，微細加工への取組みなどのヒントになると思います．
内容：
13:30〜14:00 総会
14:00〜14:30 機械研の紹介
・トライボロジー研究の紹介
（井上陽一 研究室室長）
14:30〜15：20 日立からの話題提供
(1)磁気ディスクにおける接触を考慮したスライダ浮上面設計
（徐鈞国 主任研究員）
(2)ＭＥＭＳのためのＳｉウエットエッチング加工
（田中伸司 主任研究員）
15:30?16:00 プロセス・トライボロジー分科会の現況および話題提供
(3)マイクロ／ナノインデンテーションによる表面転写
（池 浩 分科会主査）
16:00?17:00 見学会 （ソリューション説明を含む）
・交通手段 JR土浦駅から、タクシー（約15分）
JR神立駅から、タクシー（約5分）あるいは徒歩25分
・ご注意：
1）基本的に自家用車の入場はお断りしています。
2）タクシーでご来所の際は、日立インダストリイズ（旧、日立土浦工場）の守衛所で
3）また、昼休み時の場内の車・タクシー走行は禁止されております。
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お申し込み期限：
2003年5月2日19:00
ファクス：０５２-７３５-５３５１
北村憲彦